公告 公告: 直线模组的防尘性能简析
语言: ∷  English

直线模组自动化设备生产厂家

专业专注于为自动化行业提供高性能解决方案

咨询热线

18169802306(李先生)

高精密运动平台首页>精密运动平台>高精密运动平台

  • XY轴精密对位平台

XY精密对位平台

  • 一般环境使用
  • 高精密对位平台,中空设计,采用无铁芯直线电机和SP级交叉滚子导轨,全套雷尼绍光栅,检测精度0.1um,平面度≤8um,可配R轴旋转轴,多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;

  • 产品参数

    XY轴行程分别为:200-300mm (可定制)
    重复定位精度:±0.001mm
    绝对定位精度:±0.004mm
    应用行业:晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等
    *绝对定位精度需通过软件修正。

高精密对位平台,中空设计,采用无铁芯直线电机和SP级交叉滚子导轨,全套雷尼绍光栅,检测精度0.1um,平面度≤8um,可配R轴旋转轴,多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;


XY轴行程分别为:200-300mm (可定制)

重复定位精度±0.001mm

绝对定位精度±0.004mm

应用行业:晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;

注:绝对定位精度需通过软件修正。