XY精密对位平台

• 一般环境使用

• 高精密对位平台，可选中空设计，采用无铁芯直线电机和SP级交叉滚子导轨，全套雷尼绍光栅，检测精度0.1um，平面度≤8um，可配R轴旋转轴，多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等；

• 产品参数

  Tips：丝杆直线模组行程超过750mm时，会产生螺杆偏摆，此时请将降低速度，详情参数及选型建议咨询业务人员。