高精密对位平台,中空设计,采用无铁芯直线电机和SP级交叉滚子导轨,全套雷尼绍光栅,检测精度0.1um,平面度≤8um,可配R轴旋转轴,多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;
XY轴行程分别为:200-300mm (可定制)
重复定位精度:±0.001mm
绝对定位精度:±0.004mm
应用行业:晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等
*绝对定位精度需通过软件修正。
Tips:丝杆模组行程超过750mm时,会产生螺杆偏摆,此时请将降低速度;最高速度是以伺服马达最高转速3000RPM以下为基准;马达加减速设定为0.2s。
注意:完整产品手册及产品3D模型请关注微信公众号获取下载链接,或联系我司业务人员获取,给您带来不便敬请谅解!
高精密对位平台,中空设计,采用无铁芯直线电机和SP级交叉滚子导轨,全套雷尼绍光栅,检测精度0.1um,平面度≤8um,可配R轴旋转轴,多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;
XY轴行程分别为:200-300mm (可定制)
重复定位精度±0.001mm
绝对定位精度±0.004mm
应用行业:晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;
注:绝对定位精度需通过软件修正。