高精密直线运动平台

• 一款高精密直驱三轴精密运动台，采用定龙门结构，X轴安装到大理石横梁上，Y轴安装到大理石基座上。配置无铁芯直线电机，具有高动态性能、零齿槽效应和电子噪声小等特点。配置自润滑的精密滚柱导轨，承重大、速度快、加速度高、刚性好等特点。用于激光加工、晶圆切割、测试测量、电子元件组装和检测、扫描及自动化装配等领域。

• 产品参数

  重复定位精度：±2μm
  定位精度：5μm
  有效行程：100 - 1000mm
  最高速度：2000mm/s
  直线度：±1.5μm
  行走平面度：±1.5μm
  最大负载：15kg - 100kg

  Tips：丝杆直线模组行程超过750mm时，会产生螺杆偏摆，此时请将降低速度，详情参数及选型建议咨询业务人员。