精密运动平台定做厂家

Wafer & Precision Instrument Motion Stage

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大理石三轴运动平台

  • 一般环境使用
  • 高精密大理石三轴运动平台,XY轴采用标准直线电机,具有较高的组装灵活性及较高的性价比;Z轴采用高精密研磨滚珠丝杠,提供较大的垂直负载能力和足够的定位精度,支持光栅尺和控制系统非标定制。用于各类精密激光焊接、切割、检测和测量等应用场景。

  • 产品参数

    重复定位精度:±5μm
    定位精度:8μm
    有效行程:100 - 500mm
    最高速度:300mm/s
    最大负载:8kg

    Tips:丝杆直线模组行程超过750mm时,会产生螺杆偏摆,此时请将降低速度,详情参数及选型建议咨询业务人员。

运动平台特点

  • 微米级重复定位精度;

  • 性价比优势明显;

  • 组装行程灵活;

  • 直线电机驱动,大理石基座支撑;

  • 可选光栅尺编码反馈和电气控制系统。


运动平台参数

 规格 \ 轴向 X轴Y轴Z轴
重复定位精度±5μm±5μm±6μm
定位精度8μm8μm15μm
有效行程100 - 500mm100 - 500mm100 - 300mm
最高速度300mm/s300mm/s200mm/s
平面度00级
最大加速度0.5G1G
最大负载8kg

注意:以上参数仅做为选型参数使用,最终参数以出厂产品为准。以上定位精度在实验环境下激光干涉仪补偿后测得。


运动平台图片

大理石三轴运动平台

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