运动平台特点
微米级重复定位精度;
性价比优势明显;
组装行程灵活;
直线电机驱动,大理石基座支撑;
可选光栅尺编码反馈和电气控制系统。
运动平台参数
| 规格 \ 轴向 | X轴 | Y轴 | Z轴 |
| 重复定位精度 | ±5μm | ±5μm | ±6μm |
| 定位精度 | 8μm | 8μm | 15μm |
| 有效行程 | 100 - 500mm | 100 - 500mm | 100 - 300mm |
| 最高速度 | 300mm/s | 300mm/s | 200mm/s |
| 平面度 | 00级 |
| 最大加速度 | 0.5G | 1G |
| 最大负载 | 8kg |
注意:以上参数仅做为选型参数使用,最终参数以出厂产品为准。以上定位精度在实验环境下激光干涉仪补偿后测得。
运动平台图片
