三轴高精密直线电机平台

• 一般环境使用

• XYZ三轴高精密大理石直线电机平台，采用无铁芯直线电机和SP级交叉滚子导轨，全套雷尼绍光栅，检测精度0.1um，多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等。

• 产品参数

  XYZ三轴行程：X500mm/Y500mm/Z200mm（可定制）
  重复定位精度：±0.001mm
  绝对定位精度：±0.004mm
  应用行业：晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等；
  *绝对定位精度需通过软件修正。
  *Z轴采用直线电机配恒力弹性装置，保证Z轴断电保护。
  Tips：丝杆模组行程超过750mm时，会产生螺杆偏摆，此时请将降低速度；最高速度是以伺服马达最高转速3000RPM以下为基准；马达加减速设定为0.2s。