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三轴高精密直线电机平台

  • 一般环境使用
  • XYZ三轴高精密大理石直线电机平台,采用无铁芯直线电机和SP级交叉滚子导轨,全套雷尼绍光栅,检测精度0.1um,多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等。

  • 产品参数

    XYZ三轴行程:X500mm/Y500mm/Z200mm(可定制)
    重复定位精度:±0.001mm
    绝对定位精度:±0.004mm
    应用行业:晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;
    *绝对定位精度需通过软件修正。

    Tips:丝杆模组行程超过750mm时,会产生螺杆偏摆,此时请将降低速度;最高速度是以伺服马达最高转速3000RPM以下为基准;马达加减速设定为0.2s。

  • 注意:限于文件大小和数量限制,高清产品手册PDF版及完整的产品3D模型STEP文件,请联系我司业务人员获取,给您带来不便敬请谅解!

直线电机运动平台


XYZ三轴高精密大理石直线电机平台,采用无铁芯直线电机和SP级交叉滚子导轨,全套雷尼绍光栅,检测精度0.1um,多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;


XYZ三轴行程:X500mm/Y500mm/Z200mm(可定制)

重复定位精度:±0.001mm

绝对定位精度:±0.004mm

应用行业:晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;

*绝对定位精度需通过软件修正。

*Z轴采用直线电机配恒力弹性装置,保证Z轴断电保护。


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