XYZ三轴高精密大理石直线电机平台,采用无铁芯直线电机和SP级交叉滚子导轨,全套雷尼绍光栅,检测精度0.1um,多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等。
XYZ三轴行程:X500mm/Y500mm/Z200mm(可定制)
重复定位精度:±0.001mm
绝对定位精度:±0.004mm
应用行业:晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;
*绝对定位精度需通过软件修正。
*Z轴采用直线电机配恒力弹性装置,保证Z轴断电保护。
Tips:丝杆模组行程超过750mm时,会产生螺杆偏摆,此时请将降低速度;最高速度是以伺服马达最高转速3000RPM以下为基准;马达加减速设定为0.2s。
XYZ三轴高精密大理石直线电机平台,采用无铁芯直线电机和SP级交叉滚子导轨,全套雷尼绍光栅,检测精度0.1um,多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;
XYZ三轴行程:X500mm/Y500mm/Z200mm(可定制)
重复定位精度:±0.001mm
绝对定位精度:±0.004mm
应用行业:晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;
*绝对定位精度需通过软件修正。
*Z轴采用直线电机配恒力弹性装置,保证Z轴断电保护。