公告 公告: 直线模组的防尘性能简析
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三轴高精密直线电机平台

  • 一般环境使用
  • XYZ三轴高精密大理石直线电机平台,采用无铁芯直线电机和SP级交叉滚子导轨,全套雷尼绍光栅,检测精度0.1um,多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等。

  • 产品参数

    XYZ三轴行程:X500mm/Y500mm/Z200mm(可定制)
    重复定位精度:±0.001mm
    绝对定位精度:±0.004mm
    应用行业:晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;
    *绝对定位精度需通过软件修正。
    *Z轴采用直线电机配恒力弹性装置,保证Z轴断电保护。

XYZ三轴高精密大理石直线电机平台,采用无铁芯直线电机和SP级交叉滚子导轨,全套雷尼绍光栅,检测精度0.1um,多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;


XYZ三轴行程:X500mm/Y500mm/Z200mm(可定制)

重复定位精度:±0.001mm

绝对定位精度:±0.004mm

应用行业:晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等;

*绝对定位精度需通过软件修正。

*Z轴采用直线电机配恒力弹性装置,保证Z轴断电保护。


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