半导体精密运动平台

• 半导体精密运动平台XY轴采用直线电机驱动，滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈组成，R轴直驱电机驱动可实现360°旋转，Z轴布置于平台大理石横梁，常用于半导体精密制造及检测。底轴宽度约是上轴长度的2/3，可防止重心不稳定。配备自润滑的精密滚柱导轨，具有精度高、刚性好等特点。

• 产品参数

  重复定位精度：±1μm
  定位精度：3μm
  有效行程：100 - 350mm
  最高速度：300mm/s
  直线度：6μm / 500mm
  最大负载：10kg

  Tips：丝杆直线模组行程超过750mm时，会产生螺杆偏摆，此时请将降低速度，详情参数及选型建议咨询业务人员。