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喜报！雷子科技通过“高新技术企业”认定！
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Wafer & Precision Instrument Motion Stage
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唐先生(直线模组)18024904984
周先生(精密平台)
一款闭式气浮导轨双轴气浮运动台，采用气浮导轨、直线电机和光栅尺组成，十字叠层结构。闭式气浮结构，气浮导轨四面均匀受力，相较于开式气浮结构，侧向气浮刚度更大，承载能力强，模态高，具有超高重复定位精度和定位精度的平台。用于晶圆加工及检测、大尺寸飞秒激光加工、测试测量等行业。
有效行程：300mm x 300mm
定位精度：0.05μm
双向重复定位精度：±0.1μm
最高速度：200mm/s
直线度：1μm / 300mm
平面度：000级
最大水平负载：10kg
Tips：丝杆直线模组行程超过750mm时，会产生螺杆偏摆，此时请将降低速度，详情参数及选型建议咨询业务人员。
非接触闭式气浮结构；
光栅尺闭环反馈；
亚微米级重复定位精度；
直线度平面度优于1μm；
优化线缆管理，可定制化设计。
| 规格 型号 | LEIZ-QFH-XY-300 |
| 有效行程 | 300mm x 300mm |
| 定位精度 | 0.05μm |
| 双向重复定位精度 | ±0.1μm |
| 最高速度 | 200mm/s |
| 直线度 | 1μm / 300mm |
| 平面度 | 000级 |
| 电子分辨率 | 1nm |
| 最大加速度 | 5m/s² |
| 最大水平负载 | 10kg |
| 俯仰/翻滚/偏摆 | 1.5 arc sec |
| 正交度 | 5 arc sec |
注意：
1. 以上测试数据在恒温恒湿实验室环境下，测试点位于中心点上方 25mm处，由线性放大器得出。
2. 以上定位精度在实验环境下激光干涉仪补偿后测得。
