运动平台特点
高精度的直驱结构;
中型宽度尺寸高刚度设计;
精密滚柱直线导轨;
多种行程可选;
光栅尺闭环反馈;
可配置龙门Z轴及旋转R轴。
运动平台参数
| 规格 轴向 | X轴 / Y轴 |
| 重复定位精度 | ±2μm |
| 定位精度 | 5μm |
| 有效行程 | 100 - 800mm |
| 最高速度 | 500mm/s |
| 直线度 | 6μm / 500mm |
| 平面度 | 000级 |
| 最大加速度 | 2G |
| 最大负载 | 30kg |
| 光栅尺分辨率 | 0.5μm |
注意:以上参数仅做为选型参数使用,最终参数以出厂产品为准。以上定位精度在实验环境下激光干涉仪补偿后测得。